参    数

数    值

工作波长

190-320nm

相位掩膜板周期

0.5-1.2um

模板周期的精度

±0.3nm(±0.1nm可以选择)

模板周期的测量精确度

±0.02nm

基板尺寸

25.4mm或 50.8mm(直径)

实际模板的栅结构尺寸

8x20mm@12.5x25.4mm的基板

20x20mm@25.4x25.4mm的基板

10x30mm@18.8x38.1mm的基板

20x30mm@38.1x38.1mm的基板

15x45mm@25.2x50.8mm的基板

30x45mm@50.8x50.8mm的基板

残留啁啾(对均匀模板)

≤5pm/cm

啁啾范围(对啁啾模板)

0.03nm/cm-30nm/cm

啁啾精度

±0.005nm/cm-1nm/cm(随啁啾改变)

线性啁啾的非现性

≤6%@19mm栅尺寸的中间15mm

≤12%@45mm栅尺寸的中间30mm

衍射效率

0级衍射≤3%, ±1级衍射≥33%

0级衍射≤1.5%, ±1级衍射≥35%(可选)

光脉冲损害极限

1J/cm2, 50Hz@248nm

材料

康宁7980, 透明石英

基板平面

λ@248mm, 两边

验收涂覆

可选

楔

< 30 arcsec

厚度

3.175mm±0.2mm

对于啁啾相位掩模板, 中心位置误差是±200μm