参    数

数    值

工作波长

190-320nm

相位掩膜板周期

0.6-1.2um

模板周期的精度

±0.3nm(±0.1nm可以选择)

模板周期的测量精确度

±0.02nm

基板尺寸

15mm x 158.75mm

实际模板的栅结构尺寸

10mm x 150mm

残留啁啾(对均匀模板)

≤10pm/cm, 在135nm的中心区域

啁啾范围(对啁啾模板)

0.03nm/cm-30nm/cm

啁啾精度

±0.005nm/cm-1nm/cm(随啁啾改变)

线性啁啾的非现性

0.5%到35%(随啁啾改变)

衍射效率

0级衍射≤5%, ±1级衍射≥30%

光脉冲损害极限

1J/cm2, 50Hz@248nm

材料

人造熔融石英

基板平面

< 2um TIR, 两边

验收涂覆

可选

楔

< 30 arcsec

厚度

2.3mm±0.2mm

对于啁啾相位掩模板, 中心位置误差是±200μm